等離子體放電由局部電離的氣體組成，其中產(chǎn)生的帶電物質(zhì)表現(xiàn)出集體行為。從所涉及物種的高電離和高能水平的觀點來看，它被認為是物質(zhì)的第四種狀態(tài)。在特定條件下，等離子體放電的特征在于“熱”自由電子與限定氣體溫度的其余重物質(zhì)(原子，離子，分子和自由基)之間缺乏熱平衡。由于與“熱”自由電子的相互作用，這使得在室溫下誘導(dǎo)高能化學(xué)反應(yīng)(例如2CO 2→2CO + O 2(135kcal / mol)成為可能。
因此，等離子體過程是存在于微電子元件的不同制造步驟中，包括最終精細去除光刻膠殘留物。另一方面，等離子體處理方法也用于增加表面潤濕性，從而在倒裝芯片包裝過程中顯著改善底部填充 。類似地，等離子體放電用于在灌封和封裝之前激活印刷電路板。此外，它們還可用于金接觸的脫氧，以改善導(dǎo)線接合。
